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ARTICLES日本CKD半導體電動執行器滑塊型ELCR ELCR 系列是 CKD 面向精密制造、電子半導體及自動化檢測領域推出的滑塊型電動執行器,以 “緊湊結構 + 高精度控制 + 長壽命運行” 為核心設計目標。其采用步進電機直驅滾珠絲杠與一體化線性導軌組合架構,通過模塊化集成實現 “電機 - 絲杠 - 導軌 - 滑塊” 的協同傳動,適配對空間、精度、穩定性有嚴苛要求的自動化場景。
日本CKD半導體電動執行器滑塊型ESD2 ESD2 系列是 CKD 專為半導體制造場景研發的步進電機驅動型直線執行器,采用帶滾珠保持器的線性導軌與帶潤滑輔助裝置的滾珠絲杠組合,實現高精度、高剛性與長期免維護特性。其核心設計聚焦以下維度
日本CKD半導體電動執行器滑塊型ERL2 ERL2 系列是 CKD 專為半導體制造場景研發的步進電機驅動型直線執行器,采用帶滾珠保持器的線性導軌與帶潤滑輔助裝置的滾珠絲杠組合,實現高精度、高剛性與長期免維護特性。其核心設計聚焦以下維度
日本CKD半導體直驅馬達高精密型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驅馬達(AX7000 系列)是 CKD 專為半導體制造場景研發的行業最小尺寸直驅解決方案,采用無齒輪直驅技術,消除傳統傳動鏈的間隙與磨損,實現177;10 秒重復定位精度與納米級分辨率**。其核心優勢包括: 小型化:外徑 φ80mm、高度 47mm(1.2N?m 機型),重量僅 1.2kg。
日本CKD半導體通用型(ABSODEX)AX4000 ABSODEX 小型直驅馬達(AX8000M 系列)是 CKD 專為半導體制造場景研發的行業最小尺寸直驅解決方案,采用無齒輪直驅技術,消除傳統傳動鏈的間隙與磨損,實現**&177;10 秒重復定位精度與納米級分辨率**。其核心優勢包括: 小型化:外徑 φ80mm、高度 47mm(1.2N?m 機型),重量僅 1.2kg。
日本CKD半導體通用型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驅馬達(AX6000M 系列)是 CKD 專為半導體制造場景研發的行業最小尺寸直驅解決方案,采用無齒輪直驅技術,消除傳統傳動鏈的間隙與磨損,實現**±10 秒重復定位精度與納米級分辨率**。其核心優勢包括: 小型化:外徑 φ80mm、高度 47mm(1.2N?m 機型),重量僅 1.2kg,可直接集成于晶圓檢測探頭。
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