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ARTICLES日本CKD半導體通用型直驅馬達小型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驅馬達(AX6000M 系列)是 CKD 專為半導體制造場景研發的行業最小尺寸直驅解決方案,采用無齒輪直驅技術,消除傳統傳動鏈的間隙與磨損,實現**±10 秒重復定位精度與納米級分辨率**。其核心優勢包括: 小型化:外徑 φ80mm、高度 47mm(1.2N?m 機型),重量僅 1.2kg,可直接集成于晶圓檢測探頭。
日本CKD半導體通用型直驅馬達(ABSODEX) AX1R 高精度型:分度精度達 15 秒,軸跳動≤0.01mm,適用于晶圓檢測、芯片鍵合等精密場景。 AX2R 高速型:最高轉速 300rpm,響應時間 5ms,支持高速旋轉工作臺與電子元件高速搬運。AX4R 大扭矩型:最大扭矩 1000N?m,可驅動大慣性負載,適用于晶圓傳輸機械臂與封裝設備,提供電磁制動選項。
日本CKD半導體通用型直驅馬達ABSODEX AX1R 高精度型:分度精度達 ±15 秒,軸跳動≤0.01mm,適用于晶圓檢測、芯片鍵合等精密場景。 AX2R 高速型:最高轉速 300rpm,響應時間 5ms,支持高速旋轉工作臺與電子元件高速搬運。AX4R 大扭矩型:最大扭矩 1000N?m,可驅動大慣性負載,適用于晶圓傳輸機械臂與封裝設備,提供電磁制動選項。
日本CKD半導體電動執行器滑塊型KBZ 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動,最快速度達 2500mm/s,加減速度 2G(為 CKD 傳統機型的 2 倍),可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間(如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換)。這一特性對提升產線整體效率至關重要,尤其適用于高產能需求的量產場景。
日本CKD半導體電動執行器滑塊型KBX 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動,最快速度達 2500mm/s,加減速度 2G(為 CKD 傳統機型的 2 倍),可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間(如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換)。這一特性對提升產線整體效率至關重要,尤其適用于高產能需求的量產場景。
日本CKD半導體電動執行器滑塊型EKS-M 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動,最快速度達 2500mm/s,加減速度 2G(為 CKD 傳統機型的 2 倍),可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間(如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換)。這一特性對提升產線整體效率至關重要,尤其適用于高產能需求的量產場景。
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